薄膜開關(guān)薄膜表面粗糙度檢測
 1測試原理
    薄膜表面存在微小的凹凸不平的表面，利用儀器的觸針(或探頭)在薄膜表面移動，從而測出薄膜的表面粗糙度Ra.
 2試驗儀器和用品
    a)能滿足薄膜試樣的平均粗糙度側(cè)試范圍及精度要求的表面粗糙度測試儀器均可使用，儀器誤差不大于士10%.
    b)丙酮少許及端部包有脫脂棉花的棉簽.
 3試樣制備
    從樣品上縱、橫向各取三塊試樣，其尺寸以能完全覆蓋與儀器配套的測試小平面為準(zhǔn).試樣表面必須潔凈，無損傷、褶皺。
 4試驗步驟
    用棉簽蘸上丙酮清洗儀器的測試平面.將試樣放在儀器的測試平面上，試樣要完全貼緊平面，無氣泡存在。試樣的被測試面朝向測試指針，讀出3塊試樣縱、橫向各六個Ra的數(shù)值.
 5結(jié)果的計算與表示
    薄膜的表面粗糙度以三個試樣的六個Ra的算術(shù)平均值表示，單位為5m.